循環式メタルフリーオゾン水生成装置『OWF-C5L30P』

精密洗浄に最適なオゾン水生成装置！

小流量・高濃度仕様のオゾン水生成器
■オゾン水生成装置とは：オゾン水を作るための装置
■オゾン水とは：オゾンを溶かした機能水。

枚葉式洗浄装置への使用に最適
【特長】
■循環方式採用：溜まり水・捨て水が極めて少ない
　　　　　　　　濃度の立ち上がりが早い（1分でオゾン水を生成）
　　　　　　　　洗浄プロセスでのオゾン水濃度・流量が安定
■メタルフリーオゾン水：独自技術により半導体洗浄に適したオゾン水を生成
■小型・軽量・冷却水不要：外寸611Ｗ×590Ｄ×1317Ｈ、重量約87ｋｇ
　　　　　　　　　　　　　冷却用ラジエータを搭載



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