生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！
大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程
における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。
洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および
研究開発向けの設備を提供します。
「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、
自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを
自動処理する装置です。
【特長】
■薄膜電子部品工程の一連のプロセスを提供
■様々な装置で対応
■全自動スピンエッチング装置もラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』
【プロセスフローと対応装置】
■洗浄
・スクラブ式
・スプレー式
・UV洗浄
■レジスト塗布
・スピンコータ
・ロールコータ
・DIPコータ
■プリベーク
・ホットプレート
・クリーンオーブン
・IR炉
■露光
■現像
・スプレー式
・パドル式
■ポスト・ベーク
・ホットプレート
・クリーンオーブン
■エッチング
・スプレー式
・ディップ式
■剥離・洗浄
・スプレー式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■薄膜電子部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』
取扱企業薄膜電子部品工程『フォトリソグラフィープロセス装置』
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