半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉
大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および
研究開発向けに提供します。
主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、
エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。
また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、
横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。
【特長】
■生産設備・研究開発向けの高温処理炉
■半導体製造や太陽電池製造などに好適
■多様なラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報各種熱処理装置
【ラインアップ】
■縦型/横型拡散炉
■エピタキシャル装置
■縦型/横型CVD装置
■エッチング装置
■半導体製造設置用コントローラー
■縦型電気炉
■太陽電池製造用横型拡散炉
■横型CVD装置・LC6400シリーズ など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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