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最終更新日:2017-09-26 17:35:47.0

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各種熱処理装置

基本情報各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備!独自の高温処理技術による高温熱処理炉

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および
研究開発向けに提供します。

主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、
エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。

また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、
横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。

【特長】
■生産設備・研究開発向けの高温処理炉
■半導体製造や太陽電池製造などに好適
■多様なラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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各種熱処理装置 製品画像

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および
研究開発向けに提供します。

主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、
エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。

また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、
横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。

【特長】
■生産設備・研究開発向けの高温処理炉
■半導体製造や太陽電池製造などに好適
■多様なラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取扱会社 各種熱処理装置

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【事業内容】 ○装置設計作成 ○リファブ、フィールドサービス ○ガス供給ユニット・配管製作 ○装置部品・ユニット修理 ○ウエーハ ファウンドリーサービス ○計装、付帯工事 ○中古半導体製造装置売買 ○機械切削加工 ○技術者派遣 ○ガス配管工事 ○製品販売 ○太陽光発電システム販売・施工

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