6インチウエハーの一括転写が可能！ナノメートル構造を転写できるサーボプレス機
明昌機工の『NM-0403』は、ナノメートル構造を精度良く転写でき、
6インチウエハーの一括転写が可能なサーボプレス機です。
熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の
ナノインプリント機能を備えています。
オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化するアライナー機能
を搭載できます。
【特長】
■フレキシブル条件設定
■アライナー機能
■3種類のナノインプリント機能
・熱インプリント
・室温インプリント
・光インプリント
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』
【仕様】
■適応基板形状
・レジスト基板：外径150mm
・モールド：外径150mm、積層厚6mmまで
■外径寸法（mm）：
・本体装置：990W×1370D×1810H
・冷却水循環装置：354W×384D×851H
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』
取扱企業6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』
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