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最終更新日:2017-10-27 18:10:12.0

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6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』

基本情報6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』

6インチウエハーの一括転写が可能!ナノメートル構造を転写できるサーボプレス機

明昌機工の『NM-0403』は、ナノメートル構造を精度良く転写でき、
6インチウエハーの一括転写が可能なサーボプレス機です。

熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の
ナノインプリント機能を備えています。

オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化するアライナー機能
を搭載できます。

【特長】
■フレキシブル条件設定
■アライナー機能
■3種類のナノインプリント機能
・熱インプリント
・室温インプリント
・光インプリント

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』

6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』 製品画像

明昌機工の『NM-0403』は、ナノメートル構造を精度良く転写でき、
6インチウエハーの一括転写が可能なサーボプレス機です。

熱インプリント、室温インプリント、光インプリントの3種類の
ナノインプリント機能を備えています。

オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化するアライナー機能
を搭載できます。

【特長】
■フレキシブル条件設定
■アライナー機能
■3種類のナノインプリント機能
・熱インプリント
・室温インプリント
・光インプリント

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
 (詳細を見る

取扱会社 6インチ対応ナノインプリンター『NM-0403』

明昌機工株式会社

○ナノテク関連機器 ・ナノインプリント装置、超高真空装置、各種R&D装置、放射光関連機器、レーザー関連機器、中性子関連装置、半導体装置、液晶パネル搬送装置などの設計制作

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