【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブゲミュージャパン

スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。
また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。

関連リンク - https://www.gemu-group.com/ja_JP/ventiltechnik/mem…

基本情報【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

・メンテナンスフリーのPVDF製ピストンアクチュエーター
・作動方式は手動,ノーマルクローズ,ノーマルオープン,ダブルアクティングの3種類
・各種リミットスイッチ,ポジショナーが取付可能

【サイズ】1/4" ～ 1-1/4"
【適用流体】腐食性・不活性の気体および液体
【流体温度】-10 ～ 150℃
【使用圧力】Max 0.6MPa
【周囲温度】Max 60℃
【本体材質】PFA,PVDF,PP
【ダイアフラム材質】接液部PTFE / 裏ゴムEPDM
【接続】フレア,スペースセイバー,ピラー,突き合せ溶接,ユニオン,プライムロック

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	GEMÜ CleanStar C60/C67
用途／実績例	・ウェハーの洗浄,エッチング,コーティング工程・CMPスラリーの混合,輸送,供給・水処理および排水処理の薬剤注入工程・半導体製造のウェットプロセスにおけるケミカルサプライ・医薬品,食品,バイオテクノロジー分野の二次工程・高純度溶剤の供給

詳細情報【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

: 3方切替え弁タイプ
デッドスペースを最小化した3方切替えバルブです。
ミキシングバルブやマニフォールドバルブとしてお使い頂けます。

: T型ボディタイプ
液溜まりを最小限に抑えるT字型構造で,Tフィッティングを1つ節約できます。サンプリングバルブとして使用可能です。

: High-Flowボディタイプ
Cv値が標準品から最大2倍アップする,大流量タイプのボディです。

カタログ【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

取扱企業【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ

ゲミュージャパン株式会社

【メインマーケット】 ◇医薬品・バイオテクノロジー産業 ◇食品・飲料産業 ◇化学工業・環境技術 ◇エネルギー産業 ◇水処理産業 ◇プロセス産業 ◇マイクロエレクトロニクス・半導体産業 ◇医療技術【取扱製品】 ■ダイアフラムバルブ（ダイヤフラムバルブ） ■アングルシートバルブ ■マルチポートブロックバルブその他、ボールバルブ・バタフライバルブ等の汎用バルブに加え、制御機器（ポジショナー、プロセスコントローラー）、電磁弁等も提供します。