【GEMÜ（GEMU）半導体】マイクロエレクトロニクス，半導体，リチウム イオン電池製造プロセス向けソリューション

C30型は,高品質のテフロンコーティングステンレス製ゲージを装備しています。
主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。

接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に好適です。
3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。 （詳細を見る）

多様なバルブ、機器類を一体化して製作するゲミュー社オリジナルのカスタマイズ集積バルブを使用することで、
「配管内デッドスペースの削減」「複雑な配管を簡素化」「継手数削減による漏れリスクの最小化」「製造組立工数の削減」が期待でき、製造プロセスの生産性アップに大幅に貢献できます。

半導体/化学/医薬業界など高純度薬液や純水を使用する業界で長年の実績がございます。

【ゲミュー社カスタマイズバルブの特徴】
■　フィルター、流量/温度/圧力センサーや逆止弁などを組合わせてユニット化することが可能
■　CMPスラリーなど粘性が高く複雑な組成の流体に適した流路で設計が可能
■　プロセスに合わせてPTFE,PVDF,PP,PVC,SUSなど様々な材質に対応
■　他社で廃盤となってしまったバルブの同等仕様、寸法で特殊品が製作可能 （詳細を見る）

半導体製造装置や薬液配管の流体の逆流を防ぐ逆止弁（チャックバルブ）です。スプリングなどの接液部は全てPTFE製で、低いクラッキング圧力で作動します。Oリングなしでシールが可能で、高純度流体に最適です。 （詳細を見る）

半導体製造プロセスやケミカル工場で使用する引火しやすい溶剤などの高純度薬液の移送に最適なバルブです。ご要望に合わせて様々なデザインで製作が可能です。 （詳細を見る）

C38型は液体用の非接触式超音波流量計です。
計測管内に可動部品や障害物がないため圧力損失がほとんどなく洗浄も容易です。
接液部はすべてPFA 製,電子回路部はポリプロピレンによって完全に覆われているため,耐食性に優れています。浸食性・腐食性流体や,高純度の液体に最適です。

•計測頻度が250回/秒のため,脈動する流体に最適
•分析機能を備えた豊富なPC ソフトウェア
•計測値の誤差は±0.5％
•デジタル入力,出力をそれぞれ個別に設定
•アナログ出力ケーブルを標準装備
•プロセスパラメータは任意にプログラミング可能 （詳細を見る）

GEMÜ製（GEMU）のマルチポートブロックバルブは、完全オーダーメイドでお客様の仕様に合わせて1点ずつ設計・製作いたします。
マニフォールドを用いた省スペース設計で,接続箇所が少ないため漏れのリスクも最小限になります。

★マルチポートブロックバルブのメリット
1. デッドレグが0のため,液溜まりの心配がありません
2. バルブの配管スペースが50%以上小さくなります
3. 配管の手間と,部材コストを削減できます （詳細を見る）

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製バルブです。CMPスラリー等粘性薬液に最適な抵抗の少ない流路構造のダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ)です。抵抗の少ない構造である為、サイズによっては他社比較2倍以上の流量能力がございます。
また,液溜まりの少ないボディ形状によりコンタミネーションのリスクが抑えられております。 （詳細を見る）

半導体製造装置及び化学工場の薬液配管向けのフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ(ダイヤフラムバルブ）です。
コンパクトかつ500万回以上の開閉にも耐えうる高い耐久性を持ちます。
流路がスムーズでデッドスペースが最小の構造です。

補助スプリングが内蔵されており、低温の環境下で樹脂が変形したとしても、補助スプリングがダイアフラムを押さえつけて、シール性を保ちます。

最高使用温度180℃の仕様でも製作できます。 （詳細を見る）

C31型は,圧力媒体により動作する高品質の圧力トランスミッターです。
主に半導体およびマイクロエレクトロニクス産業向けのメタルフリー構造です。

接液部は全てPTFEまたはPFA製であるため,浸食性・腐食性流体,高純度の流体に最適です。
3層ダイアフラム構造により,プロセス流体とセンサー部を確実に隔離しているため,長期にわたり安定した計測を保証します。 （詳細を見る）