エルミネット株式会社 『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』
- 最終更新日：2017-12-01 13:05:23.0
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コンパクトで省エネルギー設計！導電性膜を高精度に成膜するスパッタコーター
『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』は、FESEM試料の導電性膜を
高精度に成膜する信頼性の高い、クレジントン社製のスパッタコーターです。
マグネトロンヘッドのデザインと効率的なガス導入機構で、多種類の
ターゲット材が選択できます。
さらに、独立した面内回転、プラネタリー軌道、および軸回転の理想的な
移動が試料全領域に均一なコーティングを可能にします。
【特長】
■多種類のターゲット材が選択可能
■正確な膜厚コントロール
■多試料ステージの移動機構
■ターゲットおよび試料間の距離可変のチェンバージオメトリ
■操作真空度の広い調整範囲
■ベンチトップタイプの省スペースと省エネルギー設計
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』
【仕様（一部）】
■チェンバーサイズ
・150mmφ高さ可変,165mm-250mm
■スパッタヘッド
・低電圧平面マグネトロン
・クイックターゲット交換
・ダークスペースシールド
・ターゲット用シャッター
■スパッタターゲット
・Cr,Pt/Pd（標準付属品）
（Ta,Au,Au/Pd,PtおよびWオプション）
■スパッタ制御
・マイクロプロセッサベース
・セーフティーインターロック
・真空系と独立した電流制御
・デジタルで選択可能な電流（20,40,60、または80mA）
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | 【用途】 ■FESEM試料の導電性膜を高精度に成膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』
取扱企業『208HR型高分解能ターボスパッタコーター』
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