一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価

【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価 http://ls.ipros.jp/public/product/image/910/2000351675/IPROS2187000830659314368.jpg 詳しいデータはカタログをご覧ください 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 受託製造・分析試験・コンサル > 受託 分析・評価 > その他 分析・評価受託 -

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有機汚染の定性・定量・分布を複数手法の組み合わせで評価

半導体デバイスの製造工程では、ダイシング用テープなど様々な粘着シートが使用されます。粘着シートは異物・汚染の原因となることがあります。そこで、本事例ではTOF-SIMS・SWA-GC/MSを用いて複合
的に評価した結果をご紹介します。TOF-SIMSでは、粘着シート各材料の定性を行うことで、異物・汚染がどの粘着シートに起因するのか、また粘着シートのどの層に起因するのか同定が可能です。またSWA-GC/MSでは、どの粘着シートがもっとも汚染が少ないかを定量的に確認することができます。

基本情報【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価

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用途/実績例 LSI・メモリ・パワーデバイスの分析です
よく使用される業種 バイオ、研究受託、大学・研究機関、官公庁・団体・協会、機械要素・部品、その他

カタログ【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価

【分析事例】粘着シートによる電子部品の汚染評価

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