低温ALD装置　CVA series クリエイティブコーティングス

ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能！

緻密で均質、かつ均一の厚みの膜が形成可能
　・ほとんどの金属酸化膜に対応可能
　・どのような基板（材質、平坦性、形状等々）でも密着性良く成膜可能
　・用途に応じた膜厚の制御が可能
　・室温で成膜可能

PETボトルコーティング活用例
　・アルコール飲料（軽量化・ロングライフ化）
　・医療・化粧品（容器の低コスト化、意匠性・透明性、酸アルカリ封入）
　・燃料（軽量小型燃料電池、フレキシブル燃料タンク）

基本情報低温ALD装置　CVA series

【成膜スペック】
　有機物等へ成膜の場合
　ワーク種：ウェハ、金属（SUS、アルミ、銅など）、樹脂・フィルム他
　ワークサイズ：一辺100mm程度であれば形状を問いません

　磁性粉体や全個体電池、金属微粒子等粉体へ成膜の場合
　ワーク種：磁性粉体、全個体電池（硫化物系、酸化物系）、金属微粒子他
　ワークサイズ：ф100mm以上あれば形状を問いません

【適応膜】
SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、、ZrO₂、HfO₂等

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用途／実績例	【PETボトルコーティング活用例】 ■アルコール飲料の封入　・ビール、ワインの軽量化・ロングライフ化 ■医薬・化粧品封入　・容器自体の低コスト化　・PETならではの意匠性・透明性　・酸アルカリ封入 ■燃料封入　・軽量小型燃料電池　・フレキシブル燃料タンク【その他アプリケーション例】 ■医療機器　・樹脂カテーテル　・微侵襲生体センサ（血糖値）　・人工物への生体親和性付与　・インプラント　・人口骨など ■塗装下地処理（表面改質）　・携帯用フレキシブル基板　・異種部品混在基板の塗装　・接着剤密着促進 ■金属配管部品の防蝕コート　・機械部品　・配管部品 ■高機能トナー用コート