低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series クリエイティブコーティングス

低温ALD装置とバレル機構の融合

自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現
・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能
・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可能

基本情報低温バレル型ALD成膜装置　CVA-B series

【コーティング活用例】
　磁性粉体（サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等）への保護膜形成
　　・保磁力、分散性の向上
　　・参加劣化防止
　　・帯電防止
　全個体電池（結晶、ガラス、ガラスセラミックス）
　　・硫黄と水分の反応性での有毒ガス発生の課題解決
　　・低いイオン伝導率の課題解決
　固体酸化物型燃料電池（SOFC)
　　・高密度イオン伝導体の薄膜化
　　・多孔質ステンレス採用による低コスト化
　　・YSZ界面での対抗低減
　　
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用途／実績例	成膜一例）TDMATによるAu微粒子(Φ100 nm)へのTiO2成膜 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。