株式会社パスカル 表面分析機器『TOFLAS-3000』

電気的に中性な原子ビームを採用!帯電の問題を解決した表面分析機器

『TOFLAS-3000』は、入射プローブとしてイオンではなく電気的に中性な
原子ビームを用いた飛行時間型原子散乱表面分析装置です。

本製品を使用することにより、半導体,金属のみならず絶縁体表面の
組成および原子配列の解析も可能です。
また、帯電(チャージアップ)の問題も解決します。

【特長】
■金属、半導体はもとより絶縁体の表面分析にも威力を発揮
■試料表面の元素の同定が可能
■表面下数層の原子構造解析が可能
■試料表面の極性判別が可能
■表面での動的過程のリアルタイムモニタリングに対応
■電場・磁場中でも影響なく測定が可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報表面分析機器『TOFLAS-3000』

【測定モード】
■TOFスペクトル測定
■極角測定
■方位角測定
■全方位スキャン(極点図)

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【応用例】
■薄膜成長の単原子層成長モニター
■薄膜成長モードの判定・評価
■強磁場中での薄膜成長過程の“その場分析”
■電気的にフローティング状態にある試料の分析
■極点図による試料表面の極性判別
■表面偏析元素の同定など
■簡易SIMSによる高感度・高分解能元素分析

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カタログ表面分析機器『TOFLAS-3000』

取扱企業表面分析機器『TOFLAS-3000』

パスカル.PNG

株式会社パスカル

【取扱製品】 ■真空薄膜形成装置/成膜装置 ■表面分析装置 ■極低温冷凍機システム ■真空部品・コンポーネント ■その他各種取扱製品

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