表面分析機器『TOFLAS-3000』

電気的に中性な原子ビームを採用！帯電の問題を解決した表面分析機器

『TOFLAS-3000』は、入射プローブとしてイオンではなく電気的に中性な
原子ビームを用いた飛行時間型原子散乱表面分析装置です。

本製品を使用することにより、半導体，金属のみならず絶縁体表面の
組成および原子配列の解析も可能です。
また、帯電（チャージアップ）の問題も解決します。

【特長】
■金属、半導体はもとより絶縁体の表面分析にも威力を発揮
■試料表面の元素の同定が可能
■表面下数層の原子構造解析が可能
■試料表面の極性判別が可能
■表面での動的過程のリアルタイムモニタリングに対応
■電場・磁場中でも影響なく測定が可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。