小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】 Orbray

2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポート！

『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。

【特長】
■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発
■遠心力で偏心する乾燥機構（特許番号：WO2015-098699）
■HEPAフィルター
■搬送オプションで量産対応も可能

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

関連リンク - https://orbray.com/product/jewel/wafer-cleaning-sy…

基本情報小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】

【仕様（抜粋）】
■洗浄方式：枚葉式
■ワークサイズ
・3～5mm、Φ0.5″、Φ1″
・厚み0.3~1.0mm（その他サイズは応相談）
■洗浄時間(推奨洗浄条件）
・2min/枚 (ロードからアンロードまで）
■装置構成
・基板搬送
・スクラブ洗浄(ブラシ高さ調整可能）
・メガソニック洗浄(周波数：950kHz)
・スピン乾燥（回転数：～3,000rpm）
・HEPAフィルター
■装置寸法 (mm)：480W × 600D × 1,680H
■装置重量(kg)：200

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■小型基板洗浄機 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。