小型基板洗浄機『Ecclear』

高レベルの清浄度！直径2インチ未満の小径基板を洗浄・乾燥する洗浄装置

『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。

独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。

研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。

【特長】
■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発
■遠心力で偏心する乾燥機構（特許番号：WO2015-098699）
■HEPAフィルター
■搬送オプションで量産対応も可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。