原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート PICOSUN JAPAN

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルティング及びデモ成膜サービス

ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、目的とする性能の膜をどのように作ればいいのか、お悩みになる方も多いのではないでしょうか。

そこで設計段階でのお悩みの方には、材料選定やレシピ設定、評価方法についてアドバイスをいたします。

ALD法の開発最初期から現在までノウハウの蓄積があるPICOSUNだからこそご提案できるサービスで、技術の導入検討からお客様をサポートいたします。

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基本情報原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

・アプリケーションに応じた豊富なプロセス事例
・カスタマイズ工程の開発検討
・デモサービスのご提案
・その他コンサルティングサービス

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取扱企業原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

PICOSUN JAPAN株式会社

■ALD成膜装置の製造・販売及びアフターサービス ALD(Atomic Layer Diposition、原子層堆積)とは、真空を利用した成膜技術の一つです。ALDは既存のPVD/CVD成膜技術より、下記の点において優位性がある為、急速に市場に浸透してきています。・優れた段差被覆性（付きまわり性）・膜厚が１原子層レベル（約１Å＝0.1nm）で制御でき、膜厚分布が良い・バリア性が高く膜質が良い・比較的低温で処理可能 ALDの応用分野は、半導体・電子部品・燃料電池・リチウム電池・有機EL・太陽電池・ディスプレイ・LED・メディカル等です。 ALDが爆発的に普及するきっかけとなったのは、半導体メモリのゲート酸化膜形成ですが、その特性から、微細粉末／ナノパーティクルコーティング、MEMS等超小型部品の保護膜・絶縁膜としても使われています。ワーク表面と共有結合するため密着性も良好で、他の皮膜との間の接着層としても機能します。ドライプロセスのため、有機溶剤への作業者の暴露低減目的で既存のウェットプロセス代替としても検討されており、ナノレベル表面処理として幅広い分野で注目されています。