【分析事例】界面および深さ方向分解能について一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SIMS：二次イオン質量分析法

異種材料間の界面のSIMS分析プロファイルは、深さ方向にある幅をもって変化します。これはSIMS分析の特性上、イオンビームミキシングとスパッタ表面の凹凸（ラフネス）の影響を受けるためです。検出している不純
物は、混ぜ合わされた深さまでの平均化した情報となり、深さ方向に幅を持った領域のイオンを検出します。
そのため、界面位置は一般に主成分元素のイオン強度が50％になる位置と定義しています。

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