システム【水分発生装置】WVG(FS) フジキン(Fujikin Incorporated)

<FINE series PURE>超高純度用、触媒反応を利用した、水分発生装置です。

<特長>
1.触媒を利用した反応炉。
2.幅広い濃度制御範囲。
3.優れた安全性。
4.各種インターロック。
5.安全仕様。

関連リンク - https://www.fujikin.co.jp/product/

基本情報システム【水分発生装置】WVG(FS)

◆詳細製品カタログをご参照願います。

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用途／実績例	<用途> フジキンのWVGは、熱処理装置である拡散装置、RTP装置等におきまして様々なプロセスのアプリケーションにご利用いただけます。

カタログシステム【水分発生装置】WVG(FS)

水分発生装置　WVG

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取扱企業システム【水分発生装置】WVG(FS)

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞日本が世界に誇る半導体技術。超微量のガスを正確にコントロールし、極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで生産されます。組立・検査などの工程もすべてウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。また、1992年夏に打ち上げられたわが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。