『高精度圧力測定器』日本エム・ケー・エス

非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現！高精度圧力測定システム

『高精度圧力測定器』は、キャパシタンス・ダイアフラム・センサ技術と
ソリッドステート・エレクトロニクスをベースにしたシステムです。

先端プロセス/計測の現場で求められる機能を搭載し、製造ライン、
計測研究所を問わず高精度計測をサポートします。

製造および研究の現場で、長年にわたり圧力測定の標準モデルとして
実績のあるMKSの高精度バラトロンには、各種圧力レンジ、精度、
オプション、付属品が用意されており、用途に適した仕様を選択可能です。

【特長】
■非常に低い温度係数により優れた温度安定性を実現
■同タイプのセンサ中、高精度の圧力測定を提供
■タイプ670Bシグナルコンディショナとセンサのセットで測定
■圧力校正の二次標準として好適
■6桁測定を行うことにより複数センサを一台で測定可能(分解能に制限あり)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.mksinst.com/Intl/JP1.aspx

基本情報『高精度圧力測定器』

【ラインアップ】
■センサ
・Type AA06A
・Type AD06A

■シグナルコンディショナ
・Type 670C

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取扱企業『高精度圧力測定器』

日本エム・ケー・エス株式会社

半導体、FPD、バイオ医薬、医療、その他の最先端生産技術プロセスの重要なパラメータを制御する計測機器、コンポーネントおよびサブシステムを提供しています。幅広い製品ラインナップ、世界最高水準の性能とノウハウで生産性向上へのトータルソリューションを提供しています。真空計、圧力制御機器、ガス流量制御機器、ＲＧＡ、プロセスモニター、ＦＴＩＲ、真空バルブ、真空配管用ヒーター、トラップ、ＲＦ電源、ＤＣ電源、反応性ガス発生器、マイクロ波電源、多変量解析ソフトウェアの製造・輸入・販売・サービス。