優れた耐久性・高い密着性!イオンプレーディングについての基礎知識をご紹介
当資料は、イオンプレーディングについての基礎知識をご紹介しています。
イオンプレーティングとは、真空中で金属を熱やプラズマのエネルギーで気化させ、
それに反応性ガスと組み合わせてセラミック化させ、被加工物に照射していくという技術です。
PVD法(Physical Vaper Deposition:物理的気相成長法)の一種で、
当社では、アークイオンプレーティング、UBMスパッタリングを採用しております。
【掲載内容】
■イオンプレーティングとは
■イオンプレーティングの特徴
■アークイオンプレーティングの原理
■スパッタリングの原理
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基本情報【資料】イオンプレーディングの基礎知識
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