株式会社マルイチフロロ販売 【PFA酸洗浄ボトルパック導入事例】総合化学薬品メーカーA社様
- 最終更新日:2019-08-06 17:57:20.0
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超微量分析で前処理不要!PFA酸洗浄ボトルパック導入事例をご紹介。EUV用途での容器(ボトル)も開発中です。
日本のみならず、海外にも多数の製造拠点をお持ちの総合化学薬品メーカー
A社様は、半導体部品製造の前工程で使用される薬品を新規開発しておられます。
同社で開発中の商品が金属イオンの影響を受け易い薬品のため、
顧客との薬品評価データに齟齬が生じて開発業務に支障をきたしていました。
そこで、30ppt~1pptの安定した金属イオンレベルの「PFA酸洗浄ボトルパック」を導入。
顧客との間で共通の評価容器で薬品評価作業を実施することで
評価データが暴れることなく、安心して作業を進めることが可能となりました。
【事例】
<問題点>
■金属イオンの影響を受け易い薬品のため、自社酸洗浄を試みるも
イオン値が安定して高純度、とはならない
■顧客との薬品評価データに齟齬が生じて開発業務に支障をきたしていた
<解決策>
■PFA酸洗浄ボトルパック(10タイプ)の採用
<結果・効果>
■開封後、直ちに薬品評価業務に供することが可能
■対象金属イオンの20元素が10ppt前後で安定した金属イオン溶出レベルに
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基本情報【PFA酸洗浄ボトルパック導入事例】総合化学薬品メーカーA社様
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