株式会社マルイチフロロ販売 【PFA酸洗浄ボトルパック導入事例】有機溶剤メーカーB社様
- 最終更新日:2019-08-06 15:08:33.0
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リユース洗浄対応!PFA酸洗浄ボトルパック導入事例をご紹介。EUV用途での容器(ボトル)も開発中です。
有機溶剤メーカーであるB社様は、先端半導体量産技術に係る溶剤を
新規開発しておられます。
同社で開発中の商品が極めて金属イオン含有量の少ない溶剤のため
従来使用していたPFAボトルでは容器からの金属イオン溶出が高過ぎて
使用できず、自社で酸洗浄を試みてもイオン値が下がることもありませんでした。
そこで、30ppt~1pptの安定した金属イオンレベルの「PFA酸洗浄ボトルパック」を導入されました。
【事例】
<問題点>
■極めて金属イオン含有量の少ない溶剤のため、従来使用していたPFAボトルが使用できない
■自社酸洗浄を試みるもイオン値が下がらない
■毎回新品のPFAボトルを購入する必要があるため高額な消耗品予算の計上が必要
<解決策>
■PFA酸洗浄ボトルパック(リユース品)の採用
<結果・効果>
■開封後、直ちに薬品評価業務に供することが可能
■対象金属イオンの20元素が10ppt前後で安定した金属イオン溶出レベルに
■PFA自体が耐薬品性の高い樹脂であるため、繰り返し使用も可能
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基本情報【PFA酸洗浄ボトルパック導入事例】有機溶剤メーカーB社様
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