一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】AFMデータ集
- 最終更新日:2019-02-19 13:08:50.0
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AFM :原子間力顕微鏡法
AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。
金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。
本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。
基本情報【分析事例】AFMデータ集
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用途/実績例 | LSI・メモリ・酸化物半導体・医薬品・日用品の分析です |
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