一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価

【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価 http://ls.ipros.jp/public/product/image/ab9/2000431927/IPROS889057297189784362.jpg 詳しいデータはカタログをご覧ください 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 受託製造・分析試験・コンサル > 受託 分析・評価 > その他 分析・評価受託 -
基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

角度分解XPS(ARXPS)はX線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いてサンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜(数nm程度)のデプスプロファイル評価に有効です。
本資料ではSi基板上のSiN膜について、膜中の組成分布評価を行った事例をご紹介します。

基本情報【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価

詳しいデータはカタログをご覧ください

価格 -
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 LSI・メモリの分析です

カタログ【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価

取扱企業【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価

MST.jpg

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします! 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. 1、2号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. 1、2号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。

【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST