【分析事例】STEM・EDXデータと像シミュレーションによる評価一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます

試料の測定によって得られた結果と、シミュレーションの併用により、結晶構造の評価が可能です。
本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例を紹介します。測定結果と計算シミュレーション結果の併用により、結晶構造に対する理解を深めることが可能となります

基本情報【分析事例】STEM・EDXデータと像シミュレーションによる評価

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用途／実績例	LSI・メモリ・パワーデバイス・光デバイス・太陽電池・二次電池・酸化物半導体の分析です

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