【分析事例】DRAMチップの解析一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング

代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。
外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加工位置をナノレベルで制御し薄片形成後にメモリ部の微細構造をTEM像観察しました。

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用途／実績例	LSI・メモリの分析です

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一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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