一般財団法人材料科学技術振興財団 MST 【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較
- 最終更新日:2019-04-24 10:02:15.0
- 印刷用ページ
着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です
走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)及び走査イオン顕微鏡(Scanning Ion Microscope:SIM)は、どちらも二次電子像を得ることで試料表面近傍の構造評価を行う手法です。一次プローブの違いによってコントラストの現れ方や空間分解能などの違いがあり、着目する表面構造によって2手法の使い分けが有効です。本資料では2手法の比較をまとめるとともに、測定例としてCu表面を観察した事例をご紹介します。
基本情報【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較
詳しいデータはカタログをご覧ください
価格情報 | - |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | LSI・メモリの分析です |
取扱企業【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較
-
受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします! 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. 1、2号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. 1、2号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。
【分析事例】SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。