神港精機株式会社 【関西ものづくり新撰2023選定!】緻密&平滑膜形成装置

驚くほど緻密で平滑な反応膜を実現した『アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置』

当社で取り扱う、『アーク放電型マグネトロンスパッタ装置』をご紹介します。

マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加
したことで、基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多くなり、
緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成できるようになりました。

また、コーティング面の仕上げ研磨が不要になったことで、耐久性も向上し、
省エネルギーに貢献しています。

【特長】
■マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加
■基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多い
■緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成
■コーティング面の仕上げ研磨が不要
■耐久性も向上し、省エネルギーに貢献

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報【関西ものづくり新撰2023選定!】緻密&平滑膜形成装置

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取扱企業【関西ものづくり新撰2023選定!】緻密&平滑膜形成装置

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神港精機株式会社 東京支店

●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器

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