神港精機株式会社東京支店

神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。

又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。

●装置事業部
（成膜装置）
・スパッタリング装置
・真空蒸着装置
・硬質膜形成装置
・プラズマCVD装置
（プラズマ装置）
・エッチング装置
・アッシング装置
・クリーニング装置
（熱処理装置）
・真空リフロー装置
・プラズマリフロー装置
・真空熱処理装置
・アニール装置

●規格品事業部
・ドライポンプ
・油回転真空ポンプ
・水封式真空ポンプ
・メカニカルブースタ
・真空排気装置
・真空計、真空弁、真空部品
・精密投影機
・特殊光学機器