『RAMフォース』で従来のスパッタリング技術の課題を解決！京浜ラムテック

基板へのダメージを60%以上低減！低ダメージ性を維持したまま成膜速度を向上

『RAMフォース』は、プラスティックフィルム上へ光学膜やメタル等の
多層成膜をすることができるロールtoロールスパッタリング装置です。

RAMカソード（低ダメージカソード）の性能評価ばかりでなく、
ラボの条件下で自分のアプリケーションをテストし、パイロットラインから
量産ラインへと展開することができます。

【特長】
■特許取得
■基板へのダメージを60%以上低減
※従来の平板式スパッタリングとRAMカソードとの比較
■成膜速度を3倍以上向上
※従来の対向式スパッタリングとRAMカソードとの比較
■京浜ラムテックの独自技術

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関連リンク - https://www.ramtech.jp/business/ramforce/

基本情報『RAMフォース』で従来のスパッタリング技術の課題を解決！

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