エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部 GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
- 最終更新日:2019-07-04 14:04:31.0
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GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
基本情報GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
[流量]
0~8550L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TEM-100 |
用途/実績例 | ・半導体、フラットパネルディスプレイ、およびその他の高純度用途向けの一般およびプロセス用不活性ガス ・基板アニール等、クリティカルなフラットパネルプロセスに使用されるガス ・フロントオープニングユニファイドポッド(FOUP)の洗浄や露光を含む重要なプロセス用のクリーンドライエア(CDA) |
カタログGasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
取扱企業GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社では、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な要素の圧力と流量をテーマに、事業を展開しております。 特に圧力の測定においては、米国セトラシステムズ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内の産業界に供給しております。セトラシステムズ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、ゲージ圧・真空圧・差圧・連成圧・気圧のいろいろな測定モードに対応して、幅広い製品が、さまざまな用途に用意されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもケラー社、BD社、ニッチセンサ社などの製品も扱っています。流量計測センサメーカはエクフロー社、ディグメサ社、マクミラン社の製品などを扱っています。 弊社では、これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計(マノエースシリーズ)の製造もおこなっています。 社内には、産業技術総合研究所の国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、高精度の検査を社内にて行うことができます。 【営業内容】 工業計測機器の輸入・製造・販売
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