エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
最終更新日:2024-04-01 13:39:58.0
GasPro ドライガス用 ガスフィルター オールフッ素樹脂2019/06
基本情報GasPro ドライガス用 ガスフィルター オールフッ素樹脂
半導体クリーンドライガス用ガスフィルターの紹介です
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
詳細はカタログをダウンロード、またはお問い合わせください。
GasPro 高温用ガスフィルター TEM-700シリーズ
GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。
本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10~20倍高いろ過性能があります。
清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。TEM-700は高温用途向けで(Max.400℃)、様々な接続タイプをご用意しており容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズ
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-300シリーズ
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-400シリーズ
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-800シリーズ
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。 (詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1100
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1200
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1300
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1400
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1500
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1800
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1900
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。
(詳細を見る)
GasPro TEM 高性能ガスフィルター選定ガイド
サヤマトレーディングではPorvair社の多様なガスフィルターを取り扱っています。
TEM 高性能ガスフィルターの選定ガイドの手順1~4を参照し、TEMからはじまるシリーズ名と、継手をご指定ください。
<選定手順>
・ステップ1 ガスの温度
・ステップ2 ガスの種類
・ステップ3 ガスの流量
・ステップ4 継手のサイズと形状
→ご状況に適したガスフィルターの選定が簡単4ステップで完了します!
※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。 (詳細を見る)
取扱会社 GasPro ドライガス用 ガスフィルター オールフッ素樹脂
圧力計測機器/制御機器の輸入仕入・製造・販売 流量計測機器/制御機器の輸入仕入・製造・販売 ガスフィルターの輸入仕入・販売 その他ガス/液体用の計測/制御機器の輸入仕入・製造・販売
GasPro ドライガス用 ガスフィルター オールフッ素樹脂へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。