GasPro 高温用ガスフィルター　TEM-700シリーズエア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

最高使用温度　400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター

GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。
本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよりも10～20倍高いろ過性能があります。
清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。TEM-700は高温用途向けで（Max.400℃）、様々な接続タイプをご用意しており容易に取り付けられるようになっています。

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基本情報GasPro 高温用ガスフィルター　TEM-700シリーズ

[0.01ミクロンフィルター]
最大66.6666%のろ過精度（＠0.01ミクロン）
[最大使用温度]
400℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[グラスマイクロファイバー]
100%グラスマイクロファイバー(SUS316Lメッシュで支持)
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

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型番・ブランド名	TEM-700
用途／実績例	反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に。