ベクターセミコン株式会社 セミオートプローバー『12インチウェハ セミオートシステム』
- 最終更新日:2022-06-10 17:54:47.0
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最大12インチウェハ対応!低コストで、非常に小さなエリアでの設置が可能
当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。
「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定
などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的
モデルです。
チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。
【特長】
■「TS3000」
・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能
・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適
・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応
■「TS3000-SiPH」
・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計
・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム
・安全な動作が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報セミオートプローバー『12インチウェハ セミオートシステム』
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価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【用途】 ■正確な自動測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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