ENGINEERING PROBE SYSTEM　【製品カタログ】

当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。

「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された
新型フルオートプローブシステムです。

最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で
低ノイズ、低リーク測定が可能です。

この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。

【特長】
＜TS2500-RF＞
■67GHzまでのプローブを4port搭載可能
■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応
■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『IMPACT(TM)』は、すぐに測定を始められるアクセサリを含んだ
低価格パッケージ製品です。

パッケージ製品でありながら、アプリケーションや個々の測定に合わせた
自由度を持ち合わせております。

大学、政府機関、研究機関などのDC/CVおよびRF測定ニーズに見合った
製品となっております。

【特長】
■すぐに測定を始められる
■アクセサリを含んだパッケージ製品
■アプリケーションや個々の測定に合わせた自由度がある
■周波数が高くなる場合は40GHz、50GHz、67GHzオプションを
　ご選択いただくことにより、より高い周波数での測定が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、『パワーデバイス評価用プローバー』を取り扱っています。

「TS150-HP/TS200-HP」は、10kV耐圧測定・250A（パルス）電流測定など、
パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバーです。

最大10kV耐圧仕様の300℃サーマルチャックシステムを搭載できます。

この他に、コストパフォーマンスに優れた「TS2000-DP」や、安全機構を
搭載した「TS2000-HP」もご用意しております。

【特長】
■パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバー
■チップサイズから最大6インチウェハサイズまで対応（TS150-HP）
■チップサイズから最大8インチウェハサイズまで対応（TS200-HP）
■安全を考慮した測定環境を構築可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ShielDEnvironmentマニュアルシステム『TS200-SE』は、EMI対策、
RFI対策、遮光に優れた設計がされており、様々な測定に対応した
高低温温調対応機種です。

温調システムとの組み合わせで、最大範囲-6～300℃の温度範囲で
低ノイズ、低リーク測定が可能です。

【特長】
■「TS200-SE」
　・最大8インチウェハ対応
　・低ノイズ、低リーク測定が可能
■「TS300-SE」
　・最大12インチウェハ対応
　・様々な測定やセッティングに対応可能な広いプラテン
　・操作性に優れたXYステージコントロール（ロック機能付）
　・大型ながら容易な操作が可能　

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。

「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定
などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的
モデルです。

チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。

【特長】
■「TS3000」
　・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能
　・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適
　・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応
■「TS3000-SiPH」
　・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計
　・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム
　・安全な動作が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

ミリ波、THZ測定マニュアルシステム『TS150-THZ』は、アンプ、
コンバーター、ミリ波モジュールを用いたミリ波やサブミリ波の測定に
特化した製品です。

測定システムのセットアップを簡易化し、非常に優れた精度と
再現性により、VNAの最高クラスのパフォーマンスを引き出します。

【特長】
■1.5THz帯までの幅広い周波数の計測器エクステンダと
　プローバーのシームレスな統合
■測定システムのセットアップを簡易化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当製品は、様々な測定ニーズに対応するセミオートプローバーです。

「TS2000-SE」は、高性能、超低ノイズ、高精度でありながら
テストコスト削減のもとに設計されました。

微小電流測定、高い信頼性のDC/IV測定、1/f測定、RF測定、パワーデバイス
測定など、すべてにおいて最高クラスのパフォーマンスを発揮します。

【特長】
＜TS2000-SE＞
■最大8インチウェハに対応
■EMI対策、RFI対策、遮光に優れた設計
■ウェハのロード・アンロードを自動で行う
■最大-60℃～300℃の温調が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

DC/RF測定マニュアルシステム『TS150』は、様々な用途で使用でき、
金属顕微鏡やレーザーシステム搭載など、カスタマイズが可能な製品です。

室温から300℃までの温調システムを搭載可能。

スタンダードタイプの「TS150」「TS200」「TS300」の他、
小卓上タイプの「TS-50」などのラインアップをご用意しております。

【特長】
■「TS150」「TS200」「TS300」
　・直感的な操作
　・簡単で便利
　・高精度な測定
■「TS-50」
　・場所をとらない省フットプリント設計（300×300mm）
　・無駄のない構成・設計
　・迅速なセットアップが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）