パワーデバイス評価用プローバーベクターセミコン

コストパフォーマンスに優れ、安全面にも考慮したハイパワー測定システム

当社では、『パワーデバイス評価用プローバー』を取り扱っています。

「TS150-HP/TS200-HP」は、10kV耐圧測定・250A（パルス）電流測定など、
パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバーです。

最大10kV耐圧仕様の300℃サーマルチャックシステムを搭載できます。

この他に、コストパフォーマンスに優れた「TS2000-DP」や、安全機構を
搭載した「TS2000-HP」もご用意しております。

【特長】
■パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバー
■チップサイズから最大6インチウェハサイズまで対応（TS150-HP）
■チップサイズから最大8インチウェハサイズまで対応（TS200-HP）
■安全を考慮した測定環境を構築可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.vectorsemicon.co.jp/products.html

基本情報パワーデバイス評価用プローバー

【その他の特長】
■TS2000-DP
　・最大3kV/10kVや600A（パルス）のパワーデバイスオンウェハ測定が可能
　・コストパフォーマンスに優れる
　・チャックとプローブプラテンの間のアーク放電を防止
■TS2000-HP
　・最大10kV/600Aまでの測定に対応
　・ライトカーテンやインターロックなど充実した安全機構を搭載
　・パワーデバイス測定に適した仕様のセミオート機

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■最大30kV/100A(パルス）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。