プローバー『フルオートシステム』ベクターセミコン

高い測定精度とオートメーション機能搭載！正確な校正が可能なプローバー

当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。

「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された
新型フルオートプローブシステムです。

最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で
低ノイズ、低リーク測定が可能です。

この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。

【特長】
＜TS2500-RF＞
■67GHzまでのプローブを4port搭載可能
■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応
■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://www.vectorsemicon.co.jp/ts2500rf.html

基本情報プローバー『フルオートシステム』

【特長】
＜TS3500/TS3500-SE＞
■人間工学的なローディングのための5つの個別トレイで設計
■MPIのウェーハウォレット測定機能を損なうことなく、
　「TS3500」シリーズのオートメーションを拡張
■異なる温度で5枚までの同一ウェーハを用いた全自動テストが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■オンウェハRF測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。