真空フィードスルー『VFT シリーズ』オーシャンフォトニクス

350 ℃までの高温対応！真空チャンバー用の真空フィードスルー

『VFT シリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリング
および薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の
超高真空アプリケーション用アクセサリです。

真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。

コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。

【特長】
■NEMA 筐体および高圧アプリケーション内で適切に機能
■10^－10 Torr 真空に対応
■350℃までの高温対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - http://oceanphotonics.com/product/oceanoptics_0000…

基本情報真空フィードスルー『VFT シリーズ』

【ラインアップ】
■VFT-200-SR
　コア径200μm、耐ソラリゼーションファイバ
■VFT-200-VIS
　コア径200μm、可視-近赤外ファイバ
■VFT-400-SR
　コア径400μm、耐ソラリゼーションファイバ
■VFT-400-VIS
　コア径400μm、可視-近赤外ファイバ
■VFT-600-SR
　コア径600μm、耐ソラリゼーションファイバ
■VFT-600-VIS
　コア径600μm、可視-近赤外ファイバ
■VFT-1000-UV
　コア径1000μm、耐ソラリゼーションファイバ
■VFT-1000-VIS
　コア径1000μm、可視-近赤外ファイバ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■発光測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。