株式会社 SCREEN SPEサービス 卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様>

コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。

ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。

特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、
温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、
ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。

タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。
ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。

標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。
また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも
ご利用いただけます。

【特長】
■高精度な面内温度均一性。
■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。
■3~8インチに対応。
■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。
■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。
■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様>

【共通仕様】
■ 卓上ホットプレート
<標準250℃モデル>
対応温度範囲 ~250°C
ワークサイズ 3~8インチ
寸法 幅300×奥行350×高さ300 mm
タイマー制御ピンアップによる上・下の2段
マイカヒーター・AC 100 V 600 W
丸型φ216 mm

<高温350℃モデル>
対応温度範囲 ~350°C
ワークサイズ 3~8インチ
寸法 幅320×奥行361×高さ334 mm
タイマー制御ピンアップによる上・下の2段
マイカヒーター・AC 100 V 600 W
丸型φ216 mm

■ 卓上クールプレート
空冷・水冷に対応 ※この温度で対応
ワークサイズ 3~8インチ
寸法 幅300×奥行350×高さ300 mm
タイマー制御ピンアップによる上・下の2段
丸型φ220 mm

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■ 半導体工場のプロセス開発
■ 半導体材料メーカの材料開発
■ 半導体工場の極小ロット生産

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様>

取扱企業卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様>

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株式会社 SCREEN SPEサービス

・半導体製造装置の立ち上げ・セットアップ ・半導体製造装置の仕様変更 ・半導体製造装置の修理 ・半導体製造装置のリフレッシュ・プリメンテサービス ・半導体製造装置のプロセス最適化・延命化支援 ・半導体製造装置の移設・解体 ・保守契約による各種技術サービス ・周辺機器の開発・設計・製造・販売 ・周辺機器の修理 ・耐薬エプロンSEBAPRON(セバプロン)の販売 ・装置消耗部品の販売

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