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『セバプロン』は、作業服・無塵服の上に着用する耐薬エプロン。

危険な薬液作業に必須！
多くの半導体関係企業様・薬液取り扱い企業様で標準採用いただいています。

安全性と作業性を両立した「上下一体型デザイン」。
足部分はズボンタイプなので、低所作業時の足回りの安全も確保。

耐薬品性能に加え通気性能に優れた素材を使用。作業者のストレスを大幅に軽減します。

同じ耐薬性の生地で作られた「フード」「オーバーシューズ」との組み合わせも有効。
ソフト生地なので、狭いスペースでの作業負担も改善します。

【特長】
■危険薬液で高い耐薬性（添付データ参照）
■通気性のあるPTFE素材なので、ストレス軽減
■安全と作業性を考慮した「上下一体型デザイン」
■研究所環境には、割烹着デザインの「SEBAPRO‐Hi Lab」がフィット
■「フード」「オーバーシューズ」との組み合わせも有効
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ホットプレートの性能は、フォトリソグラフィープロセスの精度を決める重要なファクターです。

特に、膜厚・線幅・膜質の高い均一性が要求される先端プロセスや、
温度依存性の高い材料でのプロセス開発においては、
ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。

タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。
ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。

標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。
また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも
ご利用いただけます。

【特長】
■高精度な面内温度均一性。
■タイマー制御により、ウェーハ間差を低減。
■3～8インチに対応。
■プロキシミティーボールにより、均一なギャップを確保。
■高温350℃モデルには、火傷防止カバーを装備。
■空冷・水冷の卓上クールプレートもご利用可能。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

純水昇圧ユニットの導入により、
純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。

純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。

この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置スペースを縮小できます。

【特長】
■常時監視によるフィードバック機能により、安定した圧力に制御。
■ベアリングのない磁気浮上遠心型のレビトロニクスポンプの採用で、
高い耐久性能を実現。
■脈動のない安定した供給を実現。
■幅広い供給流量に対応する製品モデルをご用意。
■供給先装置の通信仕様に対応。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

新技術 “ヒートポンプダイナミクス” は、ヒートポンプ技術による外気の熱回収に加え、
独自技術によって装置内排熱の回収とマージを行い、
強力な熱パックを生成。
冷却器、加熱器、加湿用加熱器でフル活用します。

中・大型空調では必須の別置熱源機＜冷凍機・ボイラー・電気ヒーター＞が不要となり、
電力使用量・ランニングコストを削減。

2050年カーボンニュートラルへ向けて、空調システムによる環境への配慮が進められます。

【特長】
■従来システムと比べ最大80％の電力使用量・ランニングコストを削減可能（当社試算）。
■空調機モデルの組み合わせで、さまざまな対象エリアを柔軟にシステム構成。小規模エリア対応のモデルも用意。
■ボイラーレスによる脱化石化燃料、そして直接のCO2排出の低減で、グリーン環境への配慮が促進。
■高精度な温湿度管理を実現する精密空調。
■中型モデルでは、クリーンブースとの連携でさまざまなシーンで活用。

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）