システム【切替弁】Stream Switching System フジキン(Fujikin Incorporated)

流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。

<特徴>
1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、
　閉時に内部に残る不要なガスを排出します。
2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。
3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。
4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、
　200万回以上の高耐久化を実現。
5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。
　貴重なサンプリングガスを無駄にしません。

基本情報システム【切替弁】Stream Switching System

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カタログシステム【切替弁】Stream Switching System

Stream Switching System

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取扱企業システム【切替弁】Stream Switching System

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

＜半導体製造装置用超精密バルブ機器＞日本が世界に誇る半導体技術。超微量のガスを正確にコントロールし、極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで生産されます。組立・検査などの工程もすべてウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。＜宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器＞フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。また、1992年夏に打ち上げられたわが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。