株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) システム【切替弁】Stream Switching System

流体の選択・切替を制御、200万回以上の高耐久化を実現。

<特徴>
1.バルブを駆動させると任意のガスのみを分析機に供給し、
 閉時に内部に残る不要なガスを排出します。
2.ボルト連結構造のため、現場でも容易に増設可能。
3.ベースブロックからバルブモジュールを取り外しての交換も容易。
4.半導体向けバルブ技術のノウハウを用いて、
 200万回以上の高耐久化を実現。
5.ステムにガイド機能を持たせることで安定したシート性能を実現。
 貴重なサンプリングガスを無駄にしません。

基本情報システム【切替弁】Stream Switching System

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株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

<半導体製造装置用超精密バルブ機器> 日本が世界に誇る半導体技術。 超微量のガスを正確にコントロールし、 極微細なごみ(微粒子)をも極端に嫌う半導体製造工程。 これらの製造装置に使用されるウルトラピュアーバルブは、 清浄度世界一を誇るクラス1のウルトラスーパークリーンルームで 生産されます。組立・検査などの工程もすべて ウルトラスーパークリーンルーム内で行われており。 一切のゴミ・油脂分をシャットアウトしています。 ここで生まれる製品は、まさに世界No.1の品質を約束しています。 <宇宙創造開発用超低温・超精密バルブ機器> フジキンは、 1976年にロケット用バルブ機器を初めて国産化したメーカーです。 宇宙開発の分野ではロケット燃料の制御、 宇宙空間における生命維持装置などの特殊用途として、 これまでに種子島宇宙センターなどに 6000台以上の納入実績を誇っています。 また、1992年夏に打ち上げられた わが国初の2トン級静止衛星VI型に搭載され、 スペースシャトル「エンデバー」に毛利衛氏が搭乗して行われた “コイの宇宙酔い実験”にもフジキンの製品が使用されました。

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