オーシャンフォトニクス株式会社 【技術情報】真空紫外(VUV)域とは

真空紫外域の透過・吸光測定を行うことが可能な真空紫外域用システムをご用意

一般的に200~300nmの波長帯域は深紫外(Deep Ultra Violet: DUV)域と
分類されますが、さらに短波長側の200nm以下の波長は
真空紫外(Vacuum Ultra Violet: VUV)域と分類されます。

真空紫外域は酸素分子・窒素分子による吸収がある波長帯域のため、
大気中での測定は困難です。

そこで、当社では真空紫外(VUV)域用にシステムをご用意。
お持ちの真空チャンバーやグローブボックス内にシステムを設置し、
真空紫外域の透過・吸光測定を行うことが可能です。

分光器のみ使用し真空紫外光の発光測定を行うこともできます。

【紹介製品】
■真空紫外域(VUV域)用透過・吸光測定システム「OP-VUV-TR」

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