6軸制御ユニットで10nmオーダのアライメントを実現
高精度センシング機能と、精密アライメント機構による、10nmオーダの平行度調整を可能にする6軸制御ユニット。
従来まで機構では、0.1umオーダの精度であったが、特殊なセンシング機構と、精密アライメント機構を用いることで、10nmオーダのアライメントを実現しております。
生産製品の品質を向上させることが、より高精細なプロセスでのアプローチを可能にします。
基本情報6軸制御ユニット【生産製品の品質を向上】
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取扱企業6軸制御ユニット【生産製品の品質を向上】
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〇機器事業部 主要製品 ・ACFライン（貼り付け機、搭載機、熱圧着機等） マニュアル卓上機からフルオート量産機まで開発・製造・販売しております。 FOB/COG/COF/FOG/COB等各プロセスに対応 ・オプティカル・レジン・ラミネーター OCR（UV硬化樹脂）の塗布、カバーガラス/タッチパネル/LCD(LCDM)の貼り合わせ、仮硬化を行います。 ・LEDフリップチップ実装装置 Auワイヤ不要、集積型COBのLEDモジュール製造装置 ・システムインテグレーション（Si、自動化設備） レーザーマーカー、フィルム貼り付け機、プリフォーカス調整機等
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