ビュルケルトジャパン株式会社 0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

0.3秒以内の高速応答!設定流量の変更が多い装置に!圧力レンジも広範囲に対応(0.01~1.0MPa)

産業用マスフローコントローラはビュルケルト!

半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。
応答速度以外にも

【ビュルケルトの産業用マスフローは】
●高圧対応 → ~1.0 MPa
●最低必要差圧 → 10kPaでOK
●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能
●暖気運転 → 1分でOK
●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減

【さらにIoT世代のマスフローとして】
●各種通信規格に対応
EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET

基本情報0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

【特長】
弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。
◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。
◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。
◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。
◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。
◆マスフローコントローラ/マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。
ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し!

価格情報 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 ビュルケルトのマスフローコントローラ
用途/実績例 ■蒸着関連装置(PVD)
■レーザー
■溶射
■溶接
■溶断
■各種燃焼炉
■排ガス燃焼装置
■培養装置
■精錬工程
■熱分析装置
■精密ガラス製造
■燃料電池アプリケーション各種
など

詳細情報0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

MFCを含めた気体制御ユニットもご提案!
高性能MFC単体のご提案だけではなく、複数台のMFC及び各種センサを、メンテナンス性や使いやすさを考慮してユニットとしてのご提案も行っております。従来のMFCと比較して1台で何役もこなすため、ご検討中のガス制御に対しての、メンテナンス性や省スペース性を実現した弊社独自のソリューション提案(例えばガス制御ユニットのご提案)も可能です!

IoT世代MFCも新登場
OpenCANやburkert専用BUSに対応し、IoT指向にマッチするMFCも新登場しました。ネットワークやPCへの接続、複数台のMFCのスマートコントロールも順次実現予定です。特に研究室や小規模ラボ棟でのマスフロー導入等にぜひご検討ください!

OpenCAN対応機種 MFC登場
OpenCANに対応したType874Xシリーズも新登場。Type874Xシリーズは複数のMFCを円滑に使用することをも想定しており、複数台でご使用頂くことでハイコストパフォーマンスを実現します。従来のマスフローコントローラと比較して1台で幅広く制御ができるため、部品単体だけではなくガス制御そのものに対してソリューション提案を行います!

カタログ0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

取扱企業0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

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ビュルケルトジャパン株式会社

■汎用オンオフバルブ(気体/液体/蒸気) ■調節弁(コントロール弁)(気体/液体/蒸気)   流量制御・圧力制御・温度制御 など ■電磁弁(気体/液体/蒸気) ■比例電磁弁(気体/液体) ■飲料プラント・製薬プラント用バルブ ■医療機器・臨床検査機器・分析機器用電磁弁    血液分析・人工透析・インクジェットプリンタ など ■流量センサ ■圧力センサ ■温度センサ ■レベルセンサ(液面計) ■PHセンサ ■導電率センサ これを用いたカスタマイズシステム提案 70余年の歴史の中で、ビュルケルトはお客様の様々なご要望をお伺いし、独自の研究・開発・設計を行った、他社には無い、多くのユニークな製品を製造しております。

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