超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』アプリクス

紫外線照射式＋活性炭式でオゾンを分解。半導体や液晶製造プロセスで活躍

『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が
一体となった小型オゾン水分解装置です。

分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを
紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した
活性炭槽でオゾンの分解を促進します。

半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。

【標準仕様】
分解原理：紫外線照射式＋活性炭式
分解対象液：純オゾン水
分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下）
使用圧力範囲：0.4MPa以下
使用流量：20L/min以下（条件による）
分解後の濃度：5ppm以下（条件による）

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』

【その他の標準仕様】
電源：AC200V±10％、2A、50/60Hz
接液部：PTFE、SUS316、石英ガラス、O-リング
寸法：W643×H482×D193mm
（分解塔の容積：約1.5L　活性炭：1L搭載）

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※当装置の性能は流量に大きく依存します。仕様により性能は異なりますので、ご相談ください。

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