超小型オゾン水分解装置『OZK-ISC001』製品資料

『OZK-ISC001』は、制御ユニット・分解塔・活性炭処理槽が
一体となった小型オゾン水分解装置です。

分解塔下部のIN側から入り塔内に溜められたオゾン水に溶解しているオゾンを
紫外線ランプ（254nm）の光で分解。さらに、分解塔の後段に設置した
活性炭槽でオゾンの分解を促進します。

半導体や液晶製造プロセスで活躍する製品です。

【標準仕様】
分解原理：紫外線照射式＋活性炭式
分解対象液：純オゾン水
分解液温度：20～50℃（周囲温度：15～40℃、90％RH以下）
使用圧力範囲：0.4MPa以下
使用流量：20L/min以下（条件による）
分解後の濃度：5ppm以下（条件による）

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