株式会社フォトニックラティス 膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』

コンパクトサイズ!点/線/面分布測定が可能なモデル、低価格モデルをラインアップ

当社では、膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』を
取扱っております。

「SE-102」は、コンパクトサイズながら点/線/面分布測定が可能。
数mm程度の狭い領域内の膜厚/屈折率分布の測定に適しています。

「SE-101」は、コンパクトで簡単操作ながら、サンプルのチルト
センサーも装備。他のシステムへの組み込みも容易な、低価格モデルです。

【特長】
<SE-102>
■コンパクトサイズ
■数mm程度の狭い領域内の膜厚/屈折率分布の測定に適している
■点/線/面の3つの測定モードを切り替えての簡単測定
<SE-101>
■コンパクト&拡張性の高い、点測定装置
■他のシステムへの組み込みも容易な、低価格モデル
■高速測定、高拡張性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』

【ラインアップ】
■SE-102
■SE-101

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【測定事例】
■スピンコートしたレジスト膜厚分布
■表面酸化層の膜厚分布
■有機層の膜厚分布
■透明基板上の膜厚分布
■微小領域測定

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カタログ膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』

取扱企業膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』

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株式会社フォトニックラティス

フォトニック結晶光学素子の設計・製造・販売 光学計測機器の設計・製造・販売 (偏光計測装置、偏光ハイスピードカメラ、赤外線ハイスピードカメラなど) 受託計測 (材料試験、サーモグラフィ、各種役務)、 特殊機材レンタルサービス

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