株式会社フォトニックラティス 膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』
- 最終更新日:2020-02-07 11:40:54.0
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コンパクトサイズ!点/線/面分布測定が可能なモデル、低価格モデルをラインアップ
当社では、膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』を
取扱っております。
「SE-102」は、コンパクトサイズながら点/線/面分布測定が可能。
数mm程度の狭い領域内の膜厚/屈折率分布の測定に適しています。
「SE-101」は、コンパクトで簡単操作ながら、サンプルのチルト
センサーも装備。他のシステムへの組み込みも容易な、低価格モデルです。
【特長】
<SE-102>
■コンパクトサイズ
■数mm程度の狭い領域内の膜厚/屈折率分布の測定に適している
■点/線/面の3つの測定モードを切り替えての簡単測定
<SE-101>
■コンパクト&拡張性の高い、点測定装置
■他のシステムへの組み込みも容易な、低価格モデル
■高速測定、高拡張性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』
【ラインアップ】
■SE-102
■SE-101
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【測定事例】 ■スピンコートしたレジスト膜厚分布 ■表面酸化層の膜厚分布 ■有機層の膜厚分布 ■透明基板上の膜厚分布 ■微小領域測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』
取扱企業膜厚分布/屈折率分布 計測エリプソメータ『SEシリーズ』
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