UniPo株式会社 ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン

ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエンは、地球温暖化係数(GWP)が非常に低く、大気寿命も短いため、環境負荷が非常に小さい物質です。

ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン(C4F6)とは、地球温暖化係数(GWP)が非常に低く、大気寿命も短いため、環境への負荷が非常に小さいです。シリコン酸化膜の微細加工にはエッチングレートが早く、選択度や精度などが高いという特徴で高アスペクト比の半導体エッチングプロセスに適用されます。そのほか、有機合成においてフッ素系機能性材料の開発にも原料として用いられます。

基本情報ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン

CAS NO. 685-63-2
国連番号 UN 3160
分子量(g/mol) 162.03
ASHRAE名 PFO-2316
外観 無色無臭気体
臨界温度(℃) 139.6
密度(g/cm3, ‒15℃) 1.44
臨界圧力(MPa) 31.9
融点(℃) ‒130
蒸気圧(MPa, 25℃) 2.11
沸点(℃) 5.5
引火点 可燃
オゾン破壊係数(ODP)  0
地球温暖化係数(GWP) < 1

価格情報 数量や純度などにより価格は変動します。
価格帯 1万円 ~ 10万円
納期 ~ 1ヶ月
型番・ブランド名 YUJI
用途/実績例 エチングガス
有機合成原料

カタログヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン

取扱企業ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン

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