低温高周波励起DLC 成膜装置　CVC series クリエイティブコーティングス

DLC(Diamond-like carbon）コーティング

高周波と直流負パルスを同時印加
・高周波プラズマは反応容器外から供給
・直流電圧はアークに直結

コンパクトでシンプルデザイン
・加熱源をもたない
・ワークの設置方向に制限なし

グラファイトからDLC まで膜質を連続制御
・高周波パワーで反応制御
・直流電圧値で密着性制御

【アプリケーション例】
・機械的特性
　耐摩耗：切削工具、摺動部品
　低摩耗：真空部品、エンジン、回転部品
　高熱伝導性：ヒートシンク
・電気的特性
　誘電性：電極、電極保護剤
　絶縁性：絶縁材
・科学的特性
　表面修飾性：親水性→医療器具
　　　　　　　撥水性→金型
・光学特性
　赤外線透過窓

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用途／実績例	コーティング活用例　【膜厚】100nm～1μm程度【成膜スペック】　ワーク：導電性フィルム、構造補強、低摩擦フィルム他、樹脂製品、　　　　　自動車部品や金属部品、ガラスレンズ、ゴム成型用金型、　　　　　人工関節カテーテル等、医療製品他　サイズ：一辺100mm程度あれば形状を問いません【適応膜】　DLC膜、グラファイト膜